規(guī)格(mm)
測量面對基面垂直度
(um)
測量面平面度或直線度
(um)
基面平面度或直線度
(um)
精度等級
00
0
00
0
00
0
100×63
2
4
1
1
1
1
160×100
2
4
1
2
1
1
250×160
2.5
5
1
2
1
2
400×250
3.5
7
1
2.5
1
2
630×400
4.5
9
1.5
3
1
2.5
800×500
5
10
2
4
1.2
3
1000×630
6
12
2.5
5
1.5
5
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